Kritinės puslaidininkių programos
Mūsų azoto generavimo sistemos palaiko reikliausius puslaidininkių gamybos procesus.
Vaflių gamyba
Itin -aukšto grynumo azotas skirtas plokštelių apdorojimui, valymui ir tvarkymui, kad būtų išvengta oksidacijos ir užteršimo svarbių gamybos etapų metu.
Cheminis nusodinimas iš garų (CVD)
Aukšto-grynumo azoto atmosfera CVD procesams, užtikrinanti tikslų plonos plėvelės nusodinimą be deguonies trukdžių ar priemaišų.
Plazminis ėsdinimas
Kontroliuojama azoto atmosfera plazminio ėsdinimo procesams, išlaikant tikslų rašto perdavimą ir užkertant kelią nepageidaujamai oksidacijai.
Reflow litavimas
Inertinės azoto atmosferos, skirtos pakartotiniam litavimui lustų pakuotėse ir surinkime, mažinančios oksidaciją ir pagerinančios litavimo jungčių kokybę.
Die Bonding
Azoto padengimas štampavimo procesų metu, siekiant užkirsti kelią oksidacijai ir užtikrinti optimalų sukibimą puslaidininkių pakavimo operacijose.
Švarios patalpos slėgis
Didelio{0}}grynumo azotas, skirtas švarioms patalpoms slėgti ir valyti, palaikyti aplinką be užteršimo-, kuri yra svarbi puslaidininkių gamybai.
Kodėl verta rinktis azoto generavimą svetainėje{0}}
Pašalinkite priklausomybę nuo tiekimo grandinės ir sumažinkite išlaidas naudodami patikimą azoto gamybą vietoje{0}}.
Itin{0}}Aukštas grynumas
Pasiekite iki 99,9999% azoto grynumą naudodami mūsų pažangią PSA technologiją ir pasirenkamas valymo sistemas, atitinkančias griežčiausius puslaidininkių pramonės standartus.
Išlaidų mažinimas
Sumažinkite azoto sąnaudas iki 90 %, palyginti su skysto azoto tiekimu, o didelės apimties puslaidininkių operacijų atveju IG paprastai pasiekiama per 12{2}}24 mėnesius.
Nuolatinis tiekimas
Pašalinkite tiekimo sutrikimus ir pristatymo vėlavimus 24 valandas per parą, 7 dienas per parą, 7 dienas per savaitę,-pagal poreikį generuodami azotą, užtikrindami nepertraukiamą puslaidininkių gamybą.
Proceso valdymas
Tiksliai valdykite azoto grynumą, srautą ir slėgį naudodami pažangias PLC{0}}valdymo sistemas ir stebėjimą realiuoju laiku.
Saugumo didinimas
Pašalinkite riziką, susijusią su kriogeninio skysto azoto tvarkymu ir laikymu, gerindami darbo vietos saugą puslaidininkių įrenginiuose.
Mastelio keitimas
Lengvai padidinkite azoto gamybos pajėgumus, kai plečiatės puslaidininkių gamybos operacijos, be infrastruktūros apribojimų.
Techninės specifikacijos
Sukurtas tikslumui ir patikimumui puslaidininkių gamybos aplinkoje.
Grynumo lygiai
- Standartinis aukštas grynumas: 99,999 % (5N) bendriems puslaidininkiams
- Itin -aukštas grynumas: 99,9999 % (6N) svarbiems plokštelių gamybos procesams
- Pasirenkamas Deoxo valymas deguonies lygiui nustatyti<0.1 ppm
- Nuolatinis grynumo stebėjimas deguonies analizatoriumi
Sistemos specifikacijos
- Srauto dydžiai: 10-2000 Nm³/val (standartinis), galimi didesni pajėgumai
- Darbinis slėgis: 4-10 bar(g), pritaikomas pagal specifinius reikalavimus
- Rasos taškas: nuo -40 laipsnių iki -70 laipsnių (su pasirenkamomis džiovintuvo sistemomis)
- PLC{0}}pagrįstas valdymas su jutiklinio ekrano HMI ir duomenų registravimu
Išplėstinės funkcijos
- Automatinis veikimas su minimalia priežiūra
- Nuotolinio stebėjimo ir diagnostikos galimybė
- Greitas paleidimo laikas 15-20 minučių
- Energiją taupantis{0}} veikimas su mažu energijos suvartojimu
Atitiktis ir standartai
- ISO 9001:2015 sertifikuota gamyba
- Atitinka puslaidininkinės įrangos SEMI standartus
- Su švariu kambariu suderinamas dizainas ir medžiagos
- Išsami dokumentacija ir patvirtinimo palaikymas
Be psa azoto generatoriaus, mes taip pat gaminame VPSA deguonies generatorius, PSA deguonies generatorius, talpyklas, šilumokaičius ir kitus gaminius. Jei jus domina psa azoto sistemos ar kiti produktai, nedvejodami siųskite elsales@gneeheatex.com. Mes labai džiaugsimės galėdami jus aptarnauti.
